Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники. Часть 2. Учебное пособие
Автор:
В. М. Рощин, М. В. Силибин, 180 стр., серия:
"МИЭТ",
издатель:
"Бином. Лаборатория знаний", ISBN:
978-5-94774-910-6
Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению "Электроника и микроэлектроника". Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.
Рейтинг книги:



4 из 5,
9 голос(-ов).