В учебнике изложены современные представления о физико-химических основах технологических процессов электроники, особенности термодинамики химических и фазовых равновесий, кинетические характеристики процессов. Рассмотрены процессы зародышеобразования, роста слоев новой фазы, методы проведения термодинамического анализа. Для студентов учреждений высшего профессионального образования. Рекомендовано Учебно-методическим объединением в качестве учебника.

Под заказ:
	My-shop.ru - 1291 руб.	Перейти

Рейтинг книги: 5 из 5, 2 голос(-ов).