Основы анализа поверхности и тонких пленок
Автор:
Л. Фелдман, Д. Майер, 344 стр., издатель:
"Мир", ISBN:
5-03-001017-3, 0-444-00989-2
Монография, написанная известными американскими специалистами в области атомных столкновений в твердых телах, посвящена физическим основам и методам использования пучков ионов, электронов и рентгеновского излучения для анализа структуры и состава тонких пленок вещества. Эти методы играют важную роль в развитии современной атомной технологии, особенно в области микроэлектроники. Все вопросы изложены на высоком научном уровне. Для специалистов, интересующихся проблемами анализа поверхности и тонких пленок, аспирантов и студентов.
В наличии: |
|
OZON.ru - 2526 руб.
|
Перейти
|
|
|