Физика гетероэпитаксиальных пленок. Особенности получения наноразмерных пленок сложных оксидов
Автор:
Сова Е.М., Мухортов В.М., 52 стр., издатель:
"Содействие - XXI век", ISBN:
978-5-91423-025-5
В пособии излагаются основные принципы технологии создания гетероструктур на основе сегнетоэлектриков, обсуждаются различные методы, их достоинства и недостатки. Подробно анализируется метод высокочастотного катодного распыления для получения пленок сложных оксидов. Предназначена для научных работников, преподавателей, аспирантов, студентов физических вузов.
Рейтинг книги:



4 из 5,
1 голос(-ов).