В работе решаются задачи оптимизации аппаратурного обеспечения плазменных технологических процессов в современном вакуумном приборостроении. Рассматриваются возбуждение химически активных сред (неравновесная плазма) и методы использования высокочастотных полей с различными частотно-спектральными свойствами для создания однородных и пространственно-развитых плазменных объемов. Особое внимение уделено создания современных высокоэффективных генераторов низкотемпературной плазмы - плазмотронов Е-типа и Н-типа, гибридных генераторов, а также многоканальных пространственно-распределенных генераторов, позволяющих реализовать различные технологические операции. Монография может представлять интерес для широкого круга технологов и конструкторов, работающих в различных областях промышленности, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области электронного приобростроения.

В наличии:
	Magistr - 279 руб.	Перейти

Рейтинг книги: 4 из 5, 3 голос(-ов).